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芯片廠對空氣過濾器的要求

芯片廠對空氣過濾器的要求
瀏覽次數(shù):1662 次  發(fā)布時間:2024-01-29  
    當今,半導體芯片廠對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度最挑剔,對空氣過濾器的要求也最苛刻。粘在芯片上的粉塵可能造成斷路、短路而直接影響成品率。
    芯片廠用的高效過濾器和風機過濾單元(FFU)出廠前要經(jīng)過掃描測試。芯片廠不認鈉焰法和DOP法的帳。
    芯片廠特別在意過濾器上可能的微量揮發(fā)元素近幾年出現(xiàn)了聚四氟乙烯PTFE纖維高效過濾材料,這種材料沒有揮發(fā)物,但它帶靜電,過濾后的空氣要進行電中和以消除離子,少了個隱患,多了個麻煩。
    但當芯片的線寬小到0.5um時,人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學污染物成了影響成品率的主要危害,于是,后建的芯廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學過濾器。
    芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器,它的原理和制造工藝并不復雜。
    許多情況下,設計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度,因此,芯片廠用的化學過濾器應具有兩個特點:廣譜吸附性能、足夠多的吸附材料。
    如果能確定污染物種類,就可對吸附材料進行有針對性的化學處理,以增強對特定污染物的吸附能力。
    過濾器供應商有時還要提供相應的現(xiàn)場檢測服務,以幫助用戶確定化學過濾器的使用情況,這就要求供應商中有搞化學過濾的專家,并與權(quán)威實驗室有密切的關(guān)系。
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